スパッタリング装置用電源変圧器

 スパッタリング装置向け大電流トランススパッタリング装置用電源変圧器
スパッタリング装置用電源トランス
直流電源に整流する前に低圧大電流にする変圧器です。



 

スパッタリングは金属を高温加熱し、溶かして霧状にして対象物の表面に膜をつくる技術です。

この技術は広く応用されていて、半導体製造プロセスを代表としては勿論、表面処理の次世代技術としても世界基準の性能評価を得ようとしている技術です。

従来の表面処理の代表としては、塗装やめっきがありますが、蒸着してから塗装を行うことで製品寿命が著しく延びます。

その結果、維持管理コストも低減されることになります。

対象物は、橋梁や海岸線にある道路標識やガードレールなど耐錆び性能が求められるものです。
 

製品仕様

事例番号1195(FileNo02-3738) 

単相電源変圧器 ダウントランス 

容量:6kVA

50/60Hz 

 一次電圧200V 30A 端子サイズM6 

 二次電圧10V 600A 圧着端子(AMP200-16) 

時間定格:15分ON/30分OFF(繰り返し)

JEC-2200 

ケースなし 裸状

耐熱クラス(絶縁種別)B種 

質量約50kg

 

   

 

 

 

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〒660-0083 兵庫県尼崎市道意町6丁目48-3

 

 

 

 

 

 

 

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