(有)ソーラーリサーチ研究所

当社にて開発した気体を噴出することにより、 ワークを空中に浮遊した非接触にて懸垂保持し、 搬送する非接触搬送装置「フロートチャック」（特許） および「フロートチャック」を用いた 半導体ウエハ、ガラス基板、プリント基板他の精緻ワークの 非接触搬送システムの製作を行っています。

有限会社　ソーラーリサーチ研究所
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