当社にて開発した気体を噴出することにより、 ワークを空中に浮遊した非接触にて懸垂保持し、
搬送する非接触搬送装置「フロートチャック」（特許） および「フロートチャック」を用いた
半導体ウエハ、ガラス基板、プリント基板他の精緻ワークの 非接触搬送システムの製作を行っています。
有限会社 ソーラーリサーチ研究所
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