治部電機株式会社

 　
半導体製造における微細加工は多岐に及びます。

シリコン深掘り、シリコン犠牲層エッチング、酸化膜犠牲層エッチング、酸化膜エッチング、化合物エッチングなど、それぞれが専用の装置によって加工されます。これらのエッチング装置（微細加工装置）を動かすために電気エネルギーを最適な状態にしてお届けするのが変圧器の仕事です。


 

微細加工装置用電源変圧器


エッチング加工装置用電源トランス


アジャスタースタンド付き電源変圧器

電源変圧器　正面窓　固定用金具とアジャスタースタンドが付いている。


 

製品仕様

事例番号902  （File№07-1140)　　

半導体製造エッチング装置用電源トランス　

三相　71kVA 　50/60Hz　　連続定格　　

1次電圧200V　205A　　デルタ結線

2次電圧400V　102A　　スター結線ニュートラル付き

耐熱クラス（絶縁種別）Ｈ種　

ＹＮｄ１

漏電ブレーカー４００ＡＦ　ＮＦＢ２回路分岐　電力量計　パイロットランプ付き　

レベルアジャスター　固定金具付き
 

質量約４３０kg

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