半導体製造装置向け励磁突入電流制限付き変圧器

  今やこの部品を欠かすことが出来ないモノとなった感がある半導体は、日夜進化を遂げています。

その昔、学生実験と称して半導体製造プロセスに関わった経験からいうと、隔世の感があります。
回路を形成するエッジング装置や成膜装置もどんどん新しくなってきています。

この様な装置や機構を開発する人たちは、まさにプロフェッショナルといえるでしょう。

そんなプロフェッショナルにも選ばれている変圧器があります。

半導体製造プロセスで使われている変圧器 
半導体製造プロセスに使われている変圧器

ケースの中味の変圧器
ケース内部に収納された変圧器 上部にはMCCBが見えている
下部には、レベルアジャスターがついている。

端子接続は正面扉の下部に集約されているトランス中味配線部

左上には1次側MCCB付き 
下部 には、それぞれの端子接続部が配置している

半導体製造装置用電源トランスの正面扉開放時の姿写真
扉開放時の写真
下部の端子接続部の並びについて
左側から2次側出力端子M12 1次側接地端子 
右側から1次側接地端子につづいて入力側端子銅帯t5×40
透明端子カバー付き

半導体製造装置用変圧器外観正面 
変圧器正面 電源表示灯付き

突入電流制限に対応した変圧器

製品仕様

事例番号1029  (File№07-1174)  

半導体製造装置用電源変圧器 (アップトランス)  

容量174kVA  

50/60Hz

 1次電圧:三相三線 200V  502A  

 2次電圧:三相四線 400V  251A  

屋内乾式ケース入り

耐熱クラス(絶縁種別)H種 

アジャスタースタンド付き

YNd

励磁突入電流13倍以下抑制

耐振固定金具付き

電源表示灯付き 

質量約980kg


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