錫製タンブラー 冷香-reico- 磨・白上
半導体製造装置向け励磁突入電流制限付き変圧器
今やこの部品を欠かすことが出来ないモノとなった感がある半導体は、日夜進化を遂げています。
その昔、学生実験と称して半導体製造プロセスに関わった経験からいうと、隔世の感があります。
回路を形成するエッジング装置や成膜装置もどんどん新しくなってきています。
この様な装置や機構を開発する人たちは、まさにプロフェッショナルといえるでしょう。
そんなプロフェッショナルにも選ばれている変圧器があります。
半導体製造プロセスに使われている変圧器
ケース内部に収納された変圧器 上部にはMCCBが見えている
下部には、レベルアジャスターがついている。
左上には1次側MCCB付き
下部 には、それぞれの端子接続部が配置している
扉開放時の写真
下部の端子接続部の並びについて
左側から2次側出力端子M12 1次側接地端子
右側から1次側接地端子につづいて入力側端子銅帯t5×40
透明端子カバー付き
変圧器正面 電源表示灯付き
突入電流制限に対応した変圧器
製品仕様
事例番号1029 (File№07-1174)
半導体製造装置用電源変圧器 (アップトランス)
容量174kVA
50/60Hz
1次電圧:三相三線 200V 502A
2次電圧:三相四線 400V 251A
屋内乾式ケース入り
耐熱クラス(絶縁種別)H種
アジャスタースタンド付き
YNd
励磁突入電流13倍以下抑制
耐振固定金具付き
電源表示灯付き
質量約980kg
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