真空抵抗加熱蒸着用リーケージトランス

2012/07/05 07:00
投稿者: jibu カテゴリ:漏れ磁束変圧器

 真空加熱蒸着装置をご存知でしょうか?

ほとんどの方がご存じないかと思います。そもそも蒸着とは、金属や酸化物を蒸発させて、素材表面に付着させるることです。
分かりやすくいうと、塗装やメッキのようなものです。一般に表面処理ともいいます。

真空状態の容器の中で、蒸着材料を加熱し気化させるのです。その加熱の方法は、抵抗加熱、電子ビーム、高周波誘導、レーザーなどです。

蒸着材料は、アルミニウム、クロム、亜鉛、金、銀、プラチナ、ニッケルなどの金属類と光学特性を有する薄膜(光学薄膜)では主にSiO2、TiO2、ZrO2、MgF2などの酸化物やフッ化物を使用します。蒸着は金属の他、樹脂や硝子等にも利用され、紙などにも処理が可能です。

以上 Wikipediaより抜粋

 



ここでは、抵抗加熱蒸着用電源として用いられているリーケージトランスをご紹介します。
抵抗加熱蒸着装置用昇圧リーケージトランス
入力側電圧接続側

2コイルに分割した構造になった昇圧トランス
リーケージトランスの構造的な特長として、磁気回路の中に磁路から外れるパスが含まれた構造ということ。
詳しくいうと、磁気回路の基本は閉ループ(閉じた磁路で構成された構造)だが、磁気漏れ変圧器は、磁路の一部に漏れる構造にしているということが特長的だ。

この構造の特長を利用することで、出力側の電流が設定以上に流れなくすることができる。

高電圧出力側抵抗加熱蒸着用昇圧リーケージトランス
片端接地(一端接地)式 高圧出力はケーブル出し

変圧器高電圧出力側
真空抵抗加熱蒸着装置用昇圧リーケージトランス


装置で材料を気化させるときに加熱するために使う変圧器


蒸着の用途品としては、メガネレンズや反射防止膜、モニターディスプレイの電極や半導体にも使われています。
電子部品でも、抵抗やコンデンサ及び半導体集積回路で用いられます。
その他、食品包装やファッション素材及び建材などがあり、幅広い分野で利用されています。
 

製品仕様

事例番号1032  (File№02-3692)  

真空抵抗加熱蒸着装置用昇圧リーケージトランス (リーケージトランス)  

容量1kVA  

50/60Hz

 1次電圧: 210,205,R200,195,190V    

 2次電圧: 5000V  0.2A  

 3次電圧: 200V  0.5A 

耐熱クラス(絶縁種別)B種 

開放電圧 7000V以下 短絡電流 0.4A以下 

  

質量24kg

 


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